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  • 硬烘与软烘的区别是什么？

    提问者：qdxfwh6

    发布于2011-11-29

    回答
共1个回答
  • qdxfwh7 丨Lv 5
    软烘是在涂了光刻胶之后，目的是去除胶中大部分溶液，并使光刻胶曝光特性固定；而硬烘是在曝光后进行的，时间比较长，温度较高，使光刻胶与圆片黏着的更紧
    +10 2011-11-29
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